真空泵的離子檢漏技術概述

 　　真空泵正常工作中，嚴禁*關閉進、排氣口閥門，應注意定期觀察壓力情況，超負荷時安全閥是否動作排氣，否則應及時調整安全閥，不準超負荷運行。對真空泵要做它的定期檢測工作。離子檢漏法與電離真空計檢漏法類似，是利用示漏氣體進入真空泵時，泵電流將發生變化的特性進行工作的，根據這種變化，可檢測出真空系統的漏孔，并可估算漏孔的大小。